[14a-A405-1~7] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[14a-A405-4] [講演奨励賞受賞記念講演] アモルファス酸化物薄膜の熱物性；(1)アモルファスAl₂O₃薄膜における熱伝導率制御

〇安倍 知奈実¹、山下 雄一郎^1,2、田中 幸美²、八木 貴志^1,2、柏木 誠¹、賈 軍軍³、服部 浩一郎²、竹歳 尚之^1,2、岡島 敏浩⁴、小口 有希⁵、重里 有三¹ (1.青学大、2.産総研、3.早大国際理工学C、4.あいちSR、5.青学大機器分析C)

キーワード：熱物性

アモルファスAl₂O₃薄膜の熱伝導率は原子数密度に依存することが知られている。本研究では、スパッタ成膜時の全圧、基板温度などを変化させ、熱伝導率の変化範囲を調べた。また、熱伝導率の音速（ヤング率）、膜の局所構造との関連にも着目した。熱物性解析はナノ秒サーモリフレクタンス法、膜の局所構造解析はXAFSにより行った。結果、Al₂O₃薄膜の熱伝導率変化に、数密度だけでなく膜の局所構造も影響することを見出した。