[14a-A405-1~7] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[14a-A405-5] アモルファス酸化物薄膜の熱物性；(2)アモルファス(Al_xGa_1-x)₂O₃薄膜の熱伝導率

〇安倍 知奈実¹、山下 雄一郎^1,2、田中 幸美²、八木 貴志^1,2、柏木 誠¹、賈 軍軍³、服部 浩一郎²、竹歳 尚之^1,2、岡島 敏浩⁴、小口 有希⁵、重里 有三¹ (1.青学大、2.産総研、3.早大国際理工学C、4.あいちSR、5.青学大機器分析C)

キーワード：熱物性

アモルファスAl₂O₃薄膜の熱伝導率は原子数密度に依存するが、複合酸化物膜では組成や局所構造などの影響も受けると考えられる。そこで(Al_xGa_1-x)₂O₃薄膜において、より広範囲な熱伝導制御を目指し、組成に対する熱伝導率変化を調べた。結果、熱伝導率はAl濃度80 at.%以下ではほぼ一定、80 at.%以上では他に比べ低い値となった。さらに、フォノンの平均自由行程とGa-O結合距離が異なることから、従来知見とは異なる可能性が示唆された。