[14a-A405-1~7] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

△ [14a-A405-7] アモルファスSiNのフォノニック結晶ナノ構造サイズに対する熱伝導率評価

〇反保 尚基¹、Yuxuan Liao²、Chun Zhou³、Elizabeth Ashley³、高橋 宏平¹、内藤 康幸¹、塩見 淳一郎²、Paul Nealey³ (1.パナソニック、2.東大工、3.シカゴ大)

キーワード：アモルファス、フォノニック、熱伝導率

アモルファス材料に対する伝熱機構の統一的理解はなされておらず、ナノ構造化が熱伝導率に与える影響も求められていなかった。そこで本研究では微細構造を有する薄膜アモルファスSiNの熱伝導率を評価することで、熱伝導特性とその制御性を検証した。実測からアモルファス材料の熱伝導率がナノ構造により約90%低下することを明らかにし、サイズ依存性を非局在性原子振動の界面散乱を仮定したモデルで説明することに成功した。