[14a-A407-1~8] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

△ [14a-A407-1] 熱酸化SiへのFeナノ粒子の分散とナノポア形成過程

〇(M2)立溝 優羽¹、内藤 宗幸¹ (1.甲南大理工)

キーワード：ナノポア、金属ナノ粒子、透過電子顕微鏡