[14a-B410-1~10] 3.13 Semiconductor optical devices

△ [14a-B410-6] Analysis of small signal responses of 1.3-µm membrane distributed reflector lasers on a SiC substrate

〇Suguru Yamaoka¹, Ryo Nakao¹, Takuro Fujii¹, Koji Takeda¹, Tatsurou Hiraki¹, Hidetaka Nishi¹, Nikolaos-Panteleimon Diamantopoulos¹, Takaaki Kakitsuka¹, Tai Tsuchizawa¹, Shinji Matsuo¹ (1.NTT Device Technology Labs.)

Keywords:directly modulated laser, membrane laser, SiC

これまでに我々は、低屈折率・高放熱SiC基板上に1.3 µm帯分布反射型メンブレンレーザを作製し、高い光閉じ込め・放熱効果により、約40 GHzの緩和振動周波数と約60 GHzの3dB帯域を実証した。しかしながら、帯域律速要因であるダンピング効果の帯域への寄与は明らかにできていない。そこで本報告では、異なる光子寿命を有するレーザの小信号応答の解析からダンピング効果の帯域への寄与を定量化し、更なる帯域向上の可能性について考察する。