11:30 AM - 11:45 AM
[14a-B410-8] Comparison of the Temperature Characteristics of Intermixed Quantum Dot LDs for Implanted Ions
Keywords:Quantum dot, Intermixing, laser
これまでイオン注入を用いたQD組成混晶化(IID-QDI)技術により、再成長不要なQDモノリシックPICを実証してきた。BイオンはArに比べより大きなバンドギャップの変化・制御が可能である一方、ArによるIID-QDIを実施したウェハは非常に温度特性に優れたLDに応用出来ることも実証してきた。今回、新たにBによるIID-QDIを実施したLDを作製し評価した結果、特性向上が出来たので報告する。