[14a-B410-1~10] 3.13 半導体光デバイス

△ [14a-B410-9] ミリ波帯Radio over fiberのための平面アンテナを集積したInGaAs/InAlAs多重量子井戸光変調器の変調特性評価

〇宮関 勇輔¹、横橋 裕斗²、児玉 将太郎²、村田 博司²、荒川 太郎¹ (1.横国大院工、2.三重大院工)

キーワード：変調器、半導体、平面アンテナ

ミリ波帯Radio over fiber技術のため、ニオブ酸リチウム（LN）や非線形光学ポリマをベースにしたアンテナ集積光変調器が報告されている。これらはポッケルス効果を用いて動作するが、小型化や変調効率の向上に限界がある。そこで本研究では、InP系アンテナ集積光変調器を開発し、その動作実証に初めて成功した。本変調器は、導波路コア層に用いた5層非対称結合量子井戸（FACQW）の量子閉じ込めシュタルク効果を利用して動作する。FACQWは、LNと比較して数倍から数十倍大きい電界誘起屈折率変化を示し、高い変調効率を実現できる。また、本変調器はInPをベースとするため、半導体発光素子との集積性も高い。本稿では、開発したInP系アンテナ集積光変調器の変調特性について示す。