[14a-B508-1~11] 7.1 X-ray technologies

[14a-B508-7] Global Optimization Technique of Two-Glazing-Incidence-Mirror Objective for Soft-X-ray Focusing Applications (4)

〇(M1)Shota Yamashita¹, Jun Chen¹, Mitsunori Toyoda¹ (1.Tokyo Polytechnic Univ.)

Keywords:multilayer mirror, geometric optics, aberration theory

高次高調波など先端の軟X線光源の利用では、直径が数mmの平行ビームを100nm以下のビーム径に集光する対物光学系が必要となる。我々は、2面の斜入射多層膜ミラー(斜入射角20-30°)からなる、対物光学系の開発を進めている。これまでの研究で、2つの球面ミラー(屈折力φ₁, φ₂)で構成した対物光学系を仮定し、正弦条件を満足し、軸外で発生したコマ収差を極小化する、4種類の実用設計解が存在することを見出した。本講演では、先に見出した設計解群で得る、コマ収差補正解を計算した結果を報告する。