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△ [14a-D209-6] レーザー共鳴イオン化を用いたスパッタ中性粒子質量分析法による同位体分析への応用
キーワード:TOF-SIMS、共鳴イオン化、レーザー
TOF-SIMSとレーザーと組み合わせてスパッタ中性粒子をイオン化させる方法はスパッタ中性粒子質量分析法(SNMS)という。我々は、ターゲットの原子の共鳴準位に合わせたレーザーを用いて共鳴多光子イオン化することが成功した。この共鳴多光子イオン化を用いて、同重体干渉を排除し、検出限界に迫っている同位体元素の同位体比の測定することができた。