[14a-D209-1~10] 2.4 加速器質量分析・加速器ビーム分析

[14a-D209-9] 構造材料用マイクロビーム分析装置を用いた水素を含む多元素同時分析法の開発

〇笹 公和^1,2、山崎 明義²、石井 聰¹、冨田 成夫²、左高 正雄¹、楢本 洋¹、工藤 博¹ (1.筑波大加速器、2.筑波大数物)

キーワード：マイクロビーム、イオンビーム分析、反跳弾性粒子検出法

筑波大学において、構造材料の組成解析を目的としたマイクロビーム分析装置の開発を進めている。本研究では、収束ビームとして8~9 MeVの⁴He²⁺ビームを用いて、物質表面の添加元素についてのPIXE法と水素の透過ERDA法による多元素同時分析法を開発した。また、反跳水素エネルギーの解析を加えることで水素3次元イメージング実現の可能性を見出した。マイクロビーム分析装置と透過ERDA-PIXE同時分析法の概要について報告する。