[14a-D221-1~12] 6.2 Carbon-based thin films

[14a-D221-3] Fluence dependence of surface modification of polycrystalline diamond films irradiated with KrF excimer laser

〇Yuki Katamune¹, Koki Murasawa^2,3, Toshifumi Kikuchi², Tsuyoshi Yoshitake², Hiroshi Ikenoue² (1.Kyutech, 2.Kyushu Univ., 3.OCS)

Keywords:diamond, excimer laser, surface modification

ダイヤモンドは硬度や耐摩耗性に優れているため硬質被膜として用いられるが，化学気相成長により成長される多結晶膜は結晶粒径が膜厚の増加ともに増大するため，膜表面は結晶面による凸凹構造を有する．結晶を微粒化してナノ微結晶ダイヤモンドとすることで表面平坦性は改善されるが，耐摩耗性の低下を伴う．本稿では，KrFエキシマレーザーを用いた超硬合金上の多結晶ダイヤモンド膜の表面加工における照射フルエンス依存性を調べたので報告する．