[14a-D305-1~10] 7.5 イオンビーム一般

[14a-D305-10] GCIB照射を用いたMoS₂の表面改質とエッチング(Ⅱ)

〇(M1)劔持 将之¹、豊田 紀章¹ (1.兵庫県立大工)

キーワード：ガスクラスターイオンビーム、二硫化モリブデン