[14a-D305-1~10] 7.5 イオンビーム一般

[14a-D305-4] 真空エレクトロスプレー液滴イオンビームのサイズ分布

〇二宮 啓¹、川瀬 幹大¹、チェン リーチュイン¹、平岡 賢三² (1.山梨大電気電子、2.山梨大クリーン)

キーワード：二次イオン質量分析、エレクトロスプレー、帯電液滴

我々は二次イオン質量分析におけるイオン化の効率を大幅に向上させることを目的として、エレクトロスプレーによって発生させた帯電液滴を巨大クラスタービームとして利用するための研究を行っている。本研究では、真空エレクトロスプレー液滴イオンビームを平坦な有機薄膜に照射し、その表面を走査型プローブ顕微鏡で観測した画像から帯電液滴のサイズ分布やその帯電液滴によるスパッタ体積の評価を行った結果について報告する。