講演情報

Tweet

一般セッション(口頭講演)

7 ビーム応用 » 7.5 イオンビーム一般

[14a-D305-1~10] 7.5 イオンビーム一般

2020年3月14日(土) 09:15 〜 12:00 D305 (11-305)

後藤康仁(京大)、二宮啓(山梨大)

11:30 〜 11:45

△ [14a-D305-9] hfac吸着表面へのGCIB照射によるNiの原子層エッチング

〇(M1)植松功多¹、豊田紀章¹ (1.兵庫県立大工)

キーワード：ガスクラスターイオンビーム、原子層エッチング