[14a-D311-1~5] 8.3 Plasma nanotechnology

[14a-D311-4] Spectral Analysis of Fluctuation of a Fine Particle Trapped in Plasma with Optical Tweezers

〇KUNIHIRO KAMATAKI¹, Sakyo Okunaga¹, Ryosuke Iwamoto¹, Kentaro Tomita², Daisuke Yamashita¹, Naho Itagaki¹, Kazunori Koga^1,3, Masaharu Shiratani¹ (1.ISEE, Kyushu Univ., 2.IGSES, Kyushu Univ., 3.NINS)

Keywords:Optical Tweezers, Fine Particle in Plasma, Fluctuation Spectral Analysis

IoTの普及などを背景に近年の半導体デバイスの高性能化のために，従来の微細化の進展が鈍化する一方で、3次元スケーリングと呼ばれる積層化が進められている。これらの製作工程を大きく占めるプラズマプロセスにおいて、プラズマ気相中のナノ粒子の制御が重要課題となっている。それらの課題解決のためには、プラズマ中の微粒子の運動を正確に理解する必要がある。プラズマ中の微粒子の新規評価法として，プラズマ中に導入した微粒子を光ピンセットにより捕捉し、その挙動を解析する方法がある。本研究では、このプラズマ中の微粒子の運動機構の解明とその制御を目的とし、微粒子の運動についての揺動解析を行ったので報告する。