[14a-D311-1~5] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[14a-D311-4] 光ピンセットによるプラズマ中捕捉微粒子の揺動スペクトル解析

〇鎌滝 晋礼¹、奥永 冴京¹、岩本 亮介¹、富田 健太郎²、山下 大輔¹、板垣 奈穂¹、古閑 一憲^1,3、白谷 正治¹ (1.九大シス情、2.九大総理工、3.自然科学研究機構)

キーワード：光ピンセット、プラズマ中の微粒子、揺動スペクトル解析

IoTの普及などを背景に近年の半導体デバイスの高性能化のために，従来の微細化の進展が鈍化する一方で、3次元スケーリングと呼ばれる積層化が進められている。これらの製作工程を大きく占めるプラズマプロセスにおいて、プラズマ気相中のナノ粒子の制御が重要課題となっている。それらの課題解決のためには、プラズマ中の微粒子の運動を正確に理解する必要がある。プラズマ中の微粒子の新規評価法として，プラズマ中に導入した微粒子を光ピンセットにより捕捉し、その挙動を解析する方法がある。本研究では、このプラズマ中の微粒子の運動機構の解明とその制御を目的とし、微粒子の運動についての揺動解析を行ったので報告する。