[14a-D411-1~7] 6.5 表面物理・真空

[14a-D411-2] フェイズ・フィールド法を用いた表面拡散による構造変化シミュレーション

〇須藤 孝一¹ (1.阪大産研)

キーワード：構造変化、表面拡散、シリコン

シリコン基板上の微細構造を非酸化雰囲気で高温アニールすると、表面拡散によって微細構造が自発的に構造変化する。この高温アニールによる自発的構造変化は、様々なデバイス製造プロセスへの応用が期待されている。本研究では、フェイズ・フィールド法を用いた表面拡散による形態変化シミュレーションを行い、実験で観察されているトポロジー変化を伴う構造変化を再現することに成功した。