[14a-D411-1~7] 6.5 表面物理・真空

[14a-D411-4] Si{111}ピラミッド構造表面の創製と評価

〇服部 梓¹、Aydar Irmikimov²、東 嵩晃²、高橋 駿太²、郭 方准³、服部 賢²、田中 秀和¹ (1.阪大産研、2.奈良先端大物質創成、3.大連交通大学)

キーワード：立体表面、シリコン