[14a-PA1-1~32] 1.2 Education

△ [14a-PA1-30] Development of Schottky barrier diode using liquid metal

〇Takanori Hagiwara¹, Mikio Adachi¹, Utsumi Atsushi¹ (1.NIT. Maizuru)

Keywords:diode, student experiment, liquid metal

これまでに舞鶴高専の学生実験ではショットキーバリヤダイオードの作製に取り組んでおり，実験実習前後のアンケートより，この実験実習が半導体デバイスの学習として有効であることが確認できた．今回，作製プロセスの更なる短時間化，および蒸着装置を用いない電極の形成を目指し，液体金属を用いたショットキーバリヤダイオードの開発を行った．