[14a-PA2-1~18] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[14a-PA2-5] 導電性銅膜作製に向けた粒子径およびペースト溶剤の効果

〇(M1)伊藤 達哉¹、石崎 学¹、栗原 正人¹ (1.山形大理工)

キーワード：ナノ粒子

電子デバイスの小型化によってプリンテッドエレクトロニクス(PE)による材料固定化法が注目されている。これに適合可能な材料として、銅ナノ粒子低抵抗・安価・耐エレクトロマイグレーション性から銅ナノ粒子が重要な材料であるが、銅ナノ粒子は酸化しやすく抵抗上昇を起こす特性がある。本研究では酸化耐性を持つ銅サブマイクロ粒子の合成、ペースト作製時の分散媒の検討によって、加熱焼結時に酸化抑制が可能かなどの研究を行った。