[14a-PA2-1~18] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[14a-PA2-9] Zn系半導体ナノ粒子多積層膜の形成とその光学特性評価

〇木野 大地¹、成田 裕紀¹、金 大貴²、脇田 和樹³、沈 用球¹ (1.大阪府大院工、2.大阪市大院工、3.千葉工大工)

キーワード：半導体ナノ粒子、屈折率、光学薄膜

バルクとは異なる物性を持つ半導体ナノ粒子(NP：直径数nm)は、その種類、サイズ、組合せ、配列により光学定数制御が可能であることに加え、光散乱が小さいことや曲面への塗布も可能なことから新しい光学薄膜用素材としての応用が期待できる。このことから、これまで我々は、Zn系半導体ナノ粒子を用いて膜厚制御したナノ粒子積層膜を作製し、光学定数制御に関する研究を行ってきた[1]。本研究では、粒径が異なるZnSeナノ粒子(ZnSe -NP)に対して、光学薄膜形成に必要となる波長オーダーの膜厚を有する多積層膜を作製し、分光エリプソメトリにより光学定数や膜厚、膜質を評価することで、半導体ナノ粒子積層膜の光学薄膜への応用可能性を調べた。