[14a-PA3-1~9] 9.5 New functional materials and new phenomena

[14a-PA3-1] Fabrication of low resistance ZnO/Zn film on porous alumina

〇Shoki Yamashita¹, Yoshitaka Morishita¹ (1.Tokyo Univ. of Agri. & Tech)

Keywords:zinc oxide, porous alumina

ポーラスアルミナの表面にZnOの透明導電膜作製することでメモリとしての応用の幅を広げることができる。しかし、ZnO膜だけでは導電性の低さに問題があることがわかった。導電性の改善のため、ZnO/Zn構造を作製し大気中でアニール処理を行い、アニール温度とZnO/Zn膜の抵抗の関係性を調べたので報告する。