[14a-PA3-1~9] 9.5 新機能材料・新物性

[14a-PA3-1] ポーラスアルミナ上への低抵抗ZnO/Zn膜の作製

〇山下 翔暉¹、森下 義隆¹ (1.農工大工)

キーワード：酸化亜鉛、ポーラスアルミナ

ポーラスアルミナの表面にZnOの透明導電膜作製することでメモリとしての応用の幅を広げることができる。しかし、ZnO膜だけでは導電性の低さに問題があることがわかった。導電性の改善のため、ZnO/Zn構造を作製し大気中でアニール処理を行い、アニール温度とZnO/Zn膜の抵抗の関係性を調べたので報告する。