09:30 〜 11:30
[14a-PA5-13] Sn/Cu/NaF積層プリカーサの硫化により作製したCu2SnS3薄膜のNa含有量の硫化温度依存性
キーワード:Cu2SnS3、薄膜、太陽電池
希少元素や有毒元素であるInやSeを含まないCu2SnS3 薄膜太陽電池に着目した。SiO2
上に成膜したSn/Cu/NaFプリカーサを硫化することでCTS薄膜を作製し,得られたSiO2
基板上のMo/CTS薄膜を酸で溶解し,誘導結合プラズマ(ICP)発光分光分析装置を用い
てNa, Cu, Sn, S組成を測定し,CTS薄膜中のNa含有量の硫化温度に対する変化につい
て調べた。SiO2基板上のMo/CTS薄膜中に含まれるNaの量は,硫化温度に対して顕著な
依存性は示さず,1.2~2.1 at.%程度を含有していることがわかった。
上に成膜したSn/Cu/NaFプリカーサを硫化することでCTS薄膜を作製し,得られたSiO2
基板上のMo/CTS薄膜を酸で溶解し,誘導結合プラズマ(ICP)発光分光分析装置を用い
てNa, Cu, Sn, S組成を測定し,CTS薄膜中のNa含有量の硫化温度に対する変化につい
て調べた。SiO2基板上のMo/CTS薄膜中に含まれるNaの量は,硫化温度に対して顕著な
依存性は示さず,1.2~2.1 at.%程度を含有していることがわかった。