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[14a-PA5-20] 熱蒸着したn-ZnS薄膜の物性評価
キーワード:CIGS、バッファ層
CIGS太陽電池は薄膜太陽電池の中では効率が高い.多接合型や中間バンド型太陽電池を設計する場合,CIGSと同様の結晶構造をもつCuGaS2がワイドギャップ母体材料として期待される.一方で,バッファ層に関しては主流のCdSよりもワイドギャップな材料が望まれている.本研究では,その条件を満たすn-ZnSをCuGaS2上に熱蒸着する際,基板温度の変化が測定結果にどのような影響を及ぼすのかを評価した.