9:30 AM - 11:30 AM
[14a-PB1-11] Microspectroscopic measurement of transmittance and phase delay of dielectric Si nanopillars
Keywords:Si nanopillar, transmittance, phase delay
誘電体メタレンズをはじめとするメタサーフェスに用いられるメタ原子であるSiナノ柱の性能評価を行った.測定の結果,位相遅延量は72˚~280˚,透過率は0.08~0.76の間で直径ごとに変化していることを確認した.透過率において、ディップ位置が計算値とほぼ同様となることが確認できた.位相遅延量において直径200 nm以下では計算値と同様の挙動をしていたが,直径210 nm以上では計算値との一致が悪く,この原因の解明と測定方法の改良を行う必要がある.