[14a-PB1-1~12] 3.1 光学基礎・光学新領域

[14a-PB1-11] シリコン柱状誘電体の透過率・位相遅延量の顕微分光計測

〇長瀬 智保¹、小川 主税¹、山田 尚征¹、池沢 聡¹、岩見 健太郎¹ (1.東京農工大学)

キーワード：シリコン柱状誘電体、透過率、位相遅延量

誘電体メタレンズをはじめとするメタサーフェスに用いられるメタ原子であるSiナノ柱の性能評価を行った．測定の結果，位相遅延量は72˚~280˚,透過率は0.08~0.76の間で直径ごとに変化していることを確認した．透過率において、ディップ位置が計算値とほぼ同様となることが確認できた．位相遅延量において直径200 nm以下では計算値と同様の挙動をしていたが，直径210 nm以上では計算値との一致が悪く，この原因の解明と測定方法の改良を行う必要がある．