[14a-PB4-1~15] 3.7 レーザープロセシング

[14a-PB4-1] ギ酸銅を出発剤としたグリオキシル酸銅錯体のグリーンフェムト秒レーザ還元描画

〇(B)林 智英¹、植月 暁²、大石 知司²、溝尻 瑞枝¹ (1.長岡技科大、2.芝浦工大)

キーワード：フェムト秒レーザ直接描画、グリオキシル酸Cu錯体、還元

ギ酸銅及び硫酸銅を出発剤としてグリオキシル酸Cu錯体溶液を調製し，そのフェムト秒レーザ還元描画特性を評価した．溶液は共にフェムト秒レーザ波長515 nmの半波長以下で大きな吸収を有し，レーザ描画によりCuパターンが形成されことから多光子還元に吸収熱還元によりCu析出したと考えられる．