[14a-PB4-1~15] 3.7 レーザープロセシング

[14a-PB4-12] 強く集光した径偏光ビームによるレーザー微細加工の材料依存性

佐藤 柾¹、〇小澤 祐市¹、佐藤 俊一¹ (1.東北大多元研)

キーワード：レーザー微細加工、径偏光、軸方向電場

我々は，微小集光スポット特性を持つ径偏光ビームをレーザー微細加工に応用し，加工サイズの縮小化や高精度化を目指した研究を進めている．これまでに，銅表面に対して径偏光ビームを強く集光し，シングルショットでのアブレーション加工を行ったところ，焦点での強度分布を反映した加工痕が得られることを実験的に明らかにした．今回は，このようなアブレーション加工における材料依存性を詳細に検証した結果を報告する．