[14a-PB4-1~15] 3.7 レーザープロセシング

[14a-PB4-2] フェムト秒レーザ還元描画Cuパターンのナノ秒レーザ表面酸化処理

〇吉冨 恭平¹、中村 奨²、溝尻 瑞枝¹ (1.長岡技科大、2.長岡高専)

キーワード：フェムト秒レーザ、表面酸化処理

本研究では，フェムト秒レーザ還元直接描画法で作製したCuパターン表面への熱酸化膜形成について報告する．高還元焼結Cuパターンのグリーンナノ秒レーザ酸化処理により表面にCu₂Oが生成されていることを確認した．