[14a-PB4-1~15] 3.7 Laser processing

[14a-PB4-5] High-precision of holographic ultraviolet laser processing using wavefront compensation

〇(M1C)Mizuki Kato¹, Satoshi Hasegawa¹, Yoshio Hayasaki¹ (1.Utsunomiya Univ.)

Keywords:holographic laser processing, ultraviolet laser processing, wavefront compensation

レーザー加工の加工スループットは，製造コストと直接的に関係する．その向上は，重要な課題であり，我々は，計算機ホログラムを用いたビーム成形技術に基づくホログラフィックレーザー加工よりその向上を目指す．本研究では，計算機ホログラムを用いて，ゼルニケ係数をもとにした波面補償と，ベッセルビームを生成し，ポリイミドフィルムへのレーザー穿孔加工を実施することで，高精度・高スループット化を実現した．