[14a-PB4-1~15] 3.7 レーザープロセシング

[14a-PB4-5] 波面補償を用いたホログラフィック紫外レーザー加工の高精度化

〇(M1C)加藤 瑞樹¹、長谷川 智士¹、早崎 芳夫¹ (1.宇都宮大オプティクス)

キーワード：ホログラフィックレーザー加工、紫外レーザー加工、波面補償

レーザー加工の加工スループットは，製造コストと直接的に関係する．その向上は，重要な課題であり，我々は，計算機ホログラムを用いたビーム成形技術に基づくホログラフィックレーザー加工よりその向上を目指す．本研究では，計算機ホログラムを用いて，ゼルニケ係数をもとにした波面補償と，ベッセルビームを生成し，ポリイミドフィルムへのレーザー穿孔加工を実施することで，高精度・高スループット化を実現した．