[14a-PB4-1~15] 3.7 レーザープロセシング

[14a-PB4-7] パルス積重数変化によるSi基板への円偏光LIPSS形成過程

中村 歩夢¹、〇宮川 鈴衣奈¹、江龍 修¹ (1.名工大)

キーワード：レーザー誘起周期構造

レーザーの偏光により、LIPSSの形状が変化することが知られているが、円偏光レーザーでのLIPSS形成の報告例は少なく、構造形成過程が明らかになっていない。本発表では、レーザーのパルス積重数変化により、Si基板への円偏光LIPSSの形成過程を調べた。