[14a-PB4-1~15] 3.7 レーザープロセシング

[14a-PB4-8] GaN基板上への円偏光LIPSS形成

〇松浦 英徳¹、宮川 鈴衣奈¹、江龍 修¹ (1.名工大院)

キーワード：窒化ガリウム、レーザー誘起周期構造

レーザー誘起周期構造（Laser-Induced Periodic Surface Structure; LIPSS）は、レーザー照射によって基板表面に形成されるナノオーダーの周期構造である。LIPSSは他の微細加工手法と比べて基板へのダメージが少なく、煩雑なウェットプロセスも不要である。レーザーの偏光によりLIPSSの形状が変化することが知られているが、円偏光での詳細な報告例は少ない。そこで本研究では、光・電子デバイス応用に有用なGaNに、円偏光のレーザー照射によるLIPSSの形成を調査した。