[14a-PB5-1~14] 6.6 Probe Microscopy

[14a-PB5-7] Fabrication and Evaluation of Single-Atom Tips for Scanning Probe Microscopy by Heat Treatment under High Electric Field

〇Hiroki Kinoshita¹ (1.Japan Advanced Institute of Science and Technology)

Keywords:scanning probe microscope

走査型プローブ顕微鏡の解像度は探針の鋭さと耐久性に依存する。本研究では鋭く、耐久性の高い探針を作製するためにタングステン探針に大気中でのレーザーアブレーションによってイリジウム薄膜を堆積させ電界イオン顕微鏡、電界放射顕微鏡による電界印加、加熱処理を行いその結果を観察した。また、窒素ガスを用いたイリジウム被覆タングステン探針の電界エッチングの実験結果も報告する。