The 67th JSAP Spring Meeting 2020

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Oral presentation

Joint Session N "Informatics" » 23.1 Joint Session N "Informatics"

[14p-A205-1~11] 23.1 Joint Session N "Informatics"

Sat. Mar 14, 2020 1:45 PM - 4:45 PM A205 (6-205)

Tetsuhiko Miyadera(AIST), Ryota Shimizu(Tokyo Tech)

3:15 PM - 3:30 PM

[14p-A205-6] Development of AI-robot-driven autonomous thin film growth system

Ryota Shimizu1,2, Shigeru Kobayashi1, Yasunobu Ando3, Taro Hitosugi1 (1.Tokyo Tech, 2.JST-PRESTO, 3.AIST)

Keywords:Materials informatics, Inorganic solid-state chemistry, physical properties in thin films

現代の物質科学では物質を探索する範囲が急拡大しており、効率的な新物質開発が強く望まれている。そこで我々は、AIとロボットを融合した新たなシステム開発に着手した。全自動搬送・成膜・評価を行う「ロボット部」と、その結果から逐次学習して成膜条件を予測・指示する「AI部」とから構成される。本発表では、透明導電体Nb:TiO2をテストケースとして、AI-ロボットシステムの活用について報告する。