[14p-A205-1~11] 23.1 Joint Session N "Informatics"

[14p-A205-6] Development of AI-robot-driven autonomous thin film growth system

〇Ryota Shimizu^1,2, Shigeru Kobayashi¹, Yasunobu Ando³, Taro Hitosugi¹ (1.Tokyo Tech, 2.JST-PRESTO, 3.AIST)

Keywords:Materials informatics, Inorganic solid-state chemistry, physical properties in thin films

現代の物質科学では物質を探索する範囲が急拡大しており、効率的な新物質開発が強く望まれている。そこで我々は、AIとロボットを融合した新たなシステム開発に着手した。全自動搬送・成膜・評価を行う「ロボット部」と、その結果から逐次学習して成膜条件を予測・指示する「AI部」とから構成される。本発表では、透明導電体Nb:TiO₂をテストケースとして、AI-ロボットシステムの活用について報告する。