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[14p-A301-10] FCE法による量子化コンダクタンス制御におけるRNNを用いた実験波形予測
キーワード:フィードバック制御型エレクトロマイグレーション、再帰型ニューラルネットワーク、量子化コンダクタンス
近年、時系列データなどの予測において、Recurrent Neural Networkを用いた研究が盛んに行われている。これまで我々は、手指の動作を抵抗値の時系列データとして検出し予測してきた。更に、フィードバック制御型エレクトロマイグレーション(FCE)法を用いた量子化コンダクタンスの制御についても検討してきた。今回は、より複雑な予測として、AuナノワイヤにFCE法を適用した際のAu原子接合形成におけるコンダクタンス実験波形の予測について検討を行った。