[14p-A301-1~13] 31.1 フォーカストセッション「AIエレクトロニクス」

[14p-A301-5] Au原子接合での量子化コンダクタンス制御におけるベイズ最適化を用いたマルチ実験パラメータの探索

〇櫻井 拓哉¹、平田 鷹介¹、島田 萌絵¹、佐伯 大地¹、白樫 淳一¹ (1.東京農工大院工)

キーワード：フィードバック制御型エレクトロマイグレーション、ベイズ最適化、量子化コンダクタンス

これまで我々は、フィードバック制御型エレクトロマイグレーション（FCE）法にベイズ最適化を適用してきた。本手法では、ハイパーパラメータとして設定した電圧フィードバック量の探索をリアルタイムに行うことで、実験の進行に伴う実験パラメータの最適化を検討してきた。今回は、電圧フィードバック量に加えて、閾値微分コンダクタンスをFCEプロセス中に同時に探索・適用することで、より自律的なAu原子接合の作製を検討した。