2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[14p-A302-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

2020年3月14日(土) 13:45 〜 18:45 A302 (6-302)

斉藤 真(東北大)、村上 尚(農工大)、新田 州吾(名大)

15:15 〜 15:30

[14p-A302-7] 高速XRD測定を利用したNaフラックスGaN基板のオフ角評価

守山 実希1、小澤 哲也2、光永 徹2 (1.豊田合成、2.リガク)

キーワード:窒化ガリウム、Naフラックス法