[14p-A305-1~14] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [14p-A305-12] 【注目講演】ピラー型電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの感度均一化の検討

〇市川 崇志¹、渥美 賢¹、古賀 達也¹、山根 大輔¹、飯田 慎一²、伊藤 浩之¹、石原 昇¹、町田 克之¹、益 一哉¹ (1.東工大、2.NTT-AT)

キーワード：MEMS、加速度センサ、ピラー型電極

MEMS加速度センサのさらなる応用拡大に向けて、我々は単一Au錘3軸静電容量型MEMS加速度センサを検討している。これまでX、Y軸検出電極として検討してきた櫛歯型や平行平板型電極は、X、Y、Z軸の感度が不均一なことが課題であった。我々は感度均一化のため、ピラー型電極を提案し検討をしている。今回、提案電極の感度解析式を導出し、各軸電極面積と感度の関係について検討した結果、提案電極を用いることで単一Au錘3軸加速度センサの感度均一化の実現見通しを得た。