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△ [14p-A305-12] 【注目講演】ピラー型電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの感度均一化の検討
キーワード:MEMS、加速度センサ、ピラー型電極
MEMS加速度センサのさらなる応用拡大に向けて、我々は単一Au錘3軸静電容量型MEMS加速度センサを検討している。これまでX、Y軸検出電極として検討してきた櫛歯型や平行平板型電極は、X、Y、Z軸の感度が不均一なことが課題であった。我々は感度均一化のため、ピラー型電極を提案し検討をしている。今回、提案電極の感度解析式を導出し、各軸電極面積と感度の関係について検討した結果、提案電極を用いることで単一Au錘3軸加速度センサの感度均一化の実現見通しを得た。