[14p-A305-1~14] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [14p-A305-9] 内視鏡を指向した2軸小型圧電MEMSミラー

〇嶋田 倫太郎¹、神田 健介¹、藤田 孝之¹、前中 一介¹ (1.兵庫県立大学)

キーワード：MEMS、PZT

本研究ではレーザ光によるTime of Flight測定により3次元画像を取得できる内視鏡の開発を目指し、直径3mm、長さ10mm以下の円筒に収まるサイズのデバイス内に、光を偏向させる駆動ミラーやレンズなどを集積させることを最終目的としている。その一部としてまず駆動ミラー部分の設計を行い、半導体バッチプロセスで試作し、駆動源には優れた圧電特性を持つPb(Zr,Ti)O3（PZT）薄膜を用いた。講演会では設計および評価結果についての詳細を議論する。