[14p-A403-1~19] 17.2 Graphene

[14p-A403-17] The Effect of Hydrogen on CVD Growth of Graphene

〇Takanobu Taira¹, Young Hyun Choi¹, Yu Tsuchihara¹, Shion Nakano¹, Kozo Mukai¹, Shunsuke Tanaka¹, Jun Yoshinobu¹ (1.ISSP, The Univ. of Tokyo)

Keywords:graphene, CVD, hydrogen

工業応用を目指したCu基板上のグラフェンCVD成長では、原料ガスのCH₄とともにH₂を供給するが、H₂がグラフェン成長に与える効果は明らかでない。本研究では、熱放射光学顕微法を用いてH₂の供給条件を変化させたグラフェンCVD成長をリアルタイム観察し、H₂の効果を評価した。結果、H₂無しの条件ではグラフェンの核発生は観察されなかった。さらに、成長途中でH₂の条件を変化させた結果も含めてH₂の効果を議論する予定である。