[14p-A403-1~19] 17.2 グラフェン

[14p-A403-17] グラフェンCVD成長における水素の効果

〇平良 隆信¹、崔 永賢¹、土原 悠¹、中野 紫苑¹、向井 孝三¹、田中 駿介¹、吉信 淳¹ (1.東大物性研)

キーワード：グラフェン、化学気相成長法、水素

工業応用を目指したCu基板上のグラフェンCVD成長では、原料ガスのCH₄とともにH₂を供給するが、H₂がグラフェン成長に与える効果は明らかでない。本研究では、熱放射光学顕微法を用いてH₂の供給条件を変化させたグラフェンCVD成長をリアルタイム観察し、H₂の効果を評価した。結果、H₂無しの条件ではグラフェンの核発生は観察されなかった。さらに、成長途中でH₂の条件を変化させた結果も含めてH₂の効果を議論する予定である。