[14p-A404-10~19] 17.3 Layered materials

[14p-A404-16] Low resistance electrodes to WSe₂ by using p⁺-MoS₂/WSe₂ vdW contact

〇Kei Takeyama¹, Rai Moriya¹, Satoru Masubuchi¹, Kenji Watanabe², Takashi Taniguchi^1,2, Tomoki Machida^1,3 (1.IIS Univ. Tokyo, 2.NIMS, 3.CREST-JST)

Keywords:2D materials, TMDCs

WSe₂はTMDの一種であり遠赤外光領域で作動する光デバイスの材料として注目を集めている。しかし蒸着した金属では良好なコンタクトをとることが難しい。本研究ではp⁺-MoS₂によるvdWコンタクトを採用することでWSe₂へのオーミックなコンタクトの作製を実現した。