[14p-A405-1~15] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

△ [14p-A405-2] ラマン分光法による多結晶シリコン粒内のナノ結晶構造が及ぼす熱伝導特性評価(Ⅱ)

〇竹内 悠希¹、横川 凌^1,2、高橋 和也³、小森 克彦³、森本 保⁴、澤本 直美¹、小椋 厚志^1,5 (1.明治大理工、2.学振特別研究員DC、3.東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ(株)、4.東京エレクトロン(株)、5.再生可能エネルギー研究インスティテュート)

キーワード：ナノ結晶、ポリシリコン、ラマン分光法