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[14p-A405-5] 熱起電力顕微鏡法により検出したZnO薄膜の微視的熱電物性
キーワード:熱起電力分布、熱起電力顕微鏡法、シミュレーション
熱電変換の性能を決める重要な物性値の一つにゼーベック係数Sがある。近年、ナノ構造化によるS増大方法が提案されているが、S測定が巨視的測定であるためその増大機構に関する実験的証拠は不明瞭なものも多い。そこで我々は、微視的な熱起電力分布の検出を提案する。本講演では、熱起電力顕微鏡法を用いたZnO薄膜の微視的な熱起電力分布の検出と、シミュレーションを用いた熱起電力分布と材料特性との関係について述べる。