[14p-A407-1~12] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[14p-A407-8] LiClおよびNaClによるシリカガラス研磨表面からの失透

〇(B)鈴木 遼汰郎¹、葛生 伸¹、堀井 直宏²、堀越 秀春³ (1.福井大工、2.福井高専、3.東ソー・エスジーエム)

キーワード：シリカガラス