[14p-B409-1~15] 3.8 光計測技術・機器

△ [14p-B409-4] 光切断法を用いた円錐・矩形形状の内面計測

〇野澤 一太¹、光成 俊泰¹、原 隆之¹、岡本 裕司¹、山崎 和則¹ (1.住友重機械工業)

キーワード：光切断法、光散乱

円環状に整形した光シート（以下、リングビーム）を利用した物体の内面形状計測の研究開発が進み、被計測対象によっては実用レベルに近づいている。しかし、被測定対象物が小型かつ円筒以外の形状になった場合の計測精度の評価は十分に検討されていない。そこで本研究では、小型リングビームユニットとカメラから形成される小型プローブ、及び、多段円錐および矩形形状の内面を有する被計測対象を作製し、リングビームを利用した光切断法による測定・評価を行った。