[14p-B508-1~8] 3.15 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス

[14p-B508-1] Pt-WO3/Si 微小リング共振器水素ガスセンサの温度特性評価

〇松浦 壮佑¹、山作 直貴¹、西島 喜明¹、岡崎 慎司¹、荒川 太郎¹ (1.横浜国立大学院工)

キーワード：ガスセンサ、水素ガス、マイクロリング共振器